气体要求

洁净干燥无腐蚀性气体

气体种类

氦气、氩气、氢气、空气、氮气、氧气、二氧化碳、甲烷等

注：其它气体请咨询

量程

100sccm - 1000slpm（相对氮气N2）

控制范围（量程比）

1% - 100%（100：1）

精度

±2%F.S.

重复性

±0.2%F.S.    

温度漂移系数

≤0.1%RD/℃

压力漂移系数

≤0.1%RD/Bar

启动时间

≤1s

响应时间

≤ 50ms

操作条件

标准参考条件（STP标准温度和压力）

25℃ 和1atm

工作温度

0 - 50℃

工作湿度

10% - 90%RH（无结冰、无凝霜）

最大耐压

1 MPa

破坏压力

1.5 MPa

储存温度

-20到85℃

机械参数

气路连接接口

底座：G1/4英寸，G1/2英寸

快 插：6mm，  8mm ，10mm，12mm

VCR：1/4英寸

注：其它接口请咨询

主体材质

底座：铝合金，316L不锈钢（可选）

外壳：注塑

接液材质

底座：铝合金，或316L不锈钢

密封圈： FKM氟橡胶

MEMS传感器：氮化硅

密封材质

FKM氟橡胶

防护等级

IP40

安装方向

任意方向

重量

铝合金：59克，188克

不锈钢：134克，485克

电气参数（供电和通信）

供电电压

DC 9 - 24V (支持USB供电)

功耗

≤60mA

供电和通信接口

JGT 5Pin

电压输出信号

0 - 5V 、 0.5 - 4.5V、V1 -5V

电流输出信号

0 – 20mA 、4 - 20mA

数字输出信号

RS485 (MODBUS)

报警信号信号

PNP、NPN

显示方式

瞬时流量、累计流量（可翻转显示正反）

显示屏尺寸

1.09英寸

显示屏分辨率

64 x 128 DOTs

通信协议

Modbus-RTU

设备地址

1（默认）- 253

压降

量程

压降

100 SCCM

0.1 kPa

500 SCCM

0.8 kPa

1 SLPM

0.3 kPa

2 SLPM

1 kPa

10 SLPM

0.7 kPa

20 SLPM

2.4 kPa

50 SLPM

7 kPa

100 SLPM

17.6 kPa

200 SLPM

59.8 kPa

500 SLPM

83.6KPa

1000 SLPM

247KPa

F4000产品系列

类型

质量流量计

针阀流量调节

电磁阀流量调节

F4000

F4001

F4003

F4000

量程

100   sccm

1     slpm

5     slpm

10    slpm

20    slpm

50    slpm

100   slpm

200   slpm

500   slpm

1000  slpm

100C

1L

5L

10L

20L

50L

100L

200L

500L

1000L

2L

气路连列接口

快插 6mm

快插 8mm

快插 10mm

快插 12mm

VCR  1/4英寸

TM6

TM8

TM10

TM12

VC4

TM6

气体 （ 遵循半导体标准E52-0703）

名称

氦气

氩气

氢气

空气

氮气

氧气

二氧化碳 

甲烷

注：其它气体请咨询 

分子式

He

Ar

H2

Air

N2

O2

CO2

CH4

001

004

007

008

013

015

025

028

013

模拟通信和数字通信

4-20mA模拟输出信号

4

5

4

0-5V模拟输出信号

开关量输出信号（PNP/NPN）

RS485数字输出信号

2

4

4

其它参数

（1） 质量流量计/控制器进入口和出口压力    

（2） 气体温度